TMC主动式减震台 返回列表页

主要性能体现在于其减震的频率范围，以及有效减震百分比。TMC从0.6Hz开始具备减震效果，并且具有对2Hz以上的有效频率范围的震动减震效可达90%的性能。主要采用压电主动震动消除。TMC的出现，使得许多高精度和稳定性要求的实验和仪器运用成为可能。TMC减震台的“刚性"式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器的理想选择，它使此类工具能够在嘈杂的环境中以高标准运行。 

主要特点：

• 始于0.6Hz的隔振 

• 2Hz开始的主动减振效果可达90%的的隔振效果 

• 高灵敏度，低频惯性速度传感器 

• 没有任何空气隔振系统的局限性 

• 串行和高力压电技术 

主要应用： 

• 聚焦离子束隔振 

• 扫描电子显微镜隔振 

• 精密仪器和机械设备隔振 

• 半导体工业隔振 

• 小型双光束仪器隔振 

• 高大工具的建筑地面振动隔离 

• 半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备的震动隔离