技术规格 |
传感器类型: | 电感式 |
取样长度: | 0.08, 0.25, 0.8, 2.5和8mm R3y, R3z, Ra, Rc, Rda, Rdc, Rdq, RHSC, Rku, RIn, Rlo, RIq, Rmr(C), Rmr, Rp, Rp1max, Rpc, |
粗糙度参数: | Rq, RS, Rsk, RSm, Rt, Rv, Rvo, Rv1max, Rz, Rz(DIN), Rz(JIS), Rz1max Wa, Wc, Wda, Wdc, Wdq, WHSC, Wku, WIn, |
波纹度参数: | Wlo, WIq, Wmr(c), Wmr, Wp, WPC, Wq, WS, Wsk, Wsm, Wt, Wv, Wvo, Wz Pa, Pc, Pda, Pdc, Pdq, PHSC, Pku, PIn, Plo, |
末滤波参数: | Plq, Pmr(c), Pmr, Pp, PPC, Pq, PS, Psk, Psm, Pt, Pv, Pvo, Pz, Pz(JIS) |
滤波器: | Gaussian高斯滤波, 2CR滤波, 2CR PC滤波 |
高度测量不确定度: | 2% + 6nm |
角度测量不确定度: | 1% ( ±35°角度范围内) |
半径测量不确定度 | 0.1 - 12.5mm= 2% to 0.04% 12.5 - 25mm= 0.04% 25- 1000mm= 0.04% to 0.2% |
横向驱动行程 | 0.1mm - 50mm |
横向数据点间距 | 0.5μm |
直线度误差(Pt) | 0.4μm 在50mm内; 0.2μm在任意20mm |
测量/移动速度 | 10mm/s *大- 0.25mm/s*小 |
垂直方向测量范围 | 1mm(60mm 测针臂); 2mm ( 120mm测针臂) |
垂直方向分辨率 | 16nm在1mm范围内;3nm在0.2mm内 |