哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司
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一.产品简介HUE系列激光干涉仪由哈尔滨工业大学研制、哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司开发，集激光器、干涉镜组、信号处理卡、环境参数传感器优势于一体，实现单轴/多轴超精密激光干涉定位与测量，可作为独立测量仪器，或嵌入大型装备中使用，满足不同客户、不同应用场景下的定制化测量需求
一.产品简介
HUE 系列激光干涉仪由哈尔滨工业大学研制、哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公 司开发，集激光器、干涉镜组、信号处理卡、环境参数传感器优势于一体，实现单轴/多轴 超精密激光干涉定位与测量，可作为独立测量仪器，或嵌入大型装备中使用，满足不同客户、 不同应用场景下的定制化测量需求。
二.技术规格
| 单轴技术参数 | 被测目标 | 平面镜/角锥棱镜/低反射率表面（24%） |
| 里程 | ±21.2m （@光学二细分）±21.2m （@光学二细分）（波长632.8nm） | |
| 测量分辨力 | 1.24nm ~ 0.31nm | |
| 相对测量精度 | 0.05ppm（真空下 0.002ppm） | |
| 测量速度 | 5.37m/s | |
| 光学非线性 | 优于±0.2nm （空间分离方案）；优于±2nm （共光路方案） | |
| 光学热漂移 | 优于30nm/K | |
| 角度容差 | 1~2mrad | |
| 测量轴数 | 1 ~ 22 轴 | |
| 数据通信 | 数据接口 | USB / ISA / VME |
| 数据更新率 | 10kHz / 10MHz | |
| 工作环境 | 温度范围 | 18℃-25℃ （推荐值 20±1℃, 30 min 内变化W±0.1℃） |
| 相对湿度 | 30% - 60% |
三.HUE系列超精密激光干涉测量系统示例
| 单轴外差激光干涉测量系统 可测量运动台的一维水平位移 ① 激光器（SL 系列单频 / XL 系列空间分离双频） ② 合光器（BC01 无源型 / BC02 有源型） ③ 单轴干涉镜组（DP01-P 型，1 套） ④ 外差光电探测器 （PD02-F 型，2 套，含参考光路） ⑤ 信号处理卡（DE 系列，含机箱） ⑥ 被测目标：一维运动台（平面镜） 注：图中参考光路未画出 |
| 二轴外差激光干涉测量系统 可测量运动台的二维水平位移 ① 激光器（SL 系列单频 / XL 系列空间分离双频） ② 合光器（BC01 无源型 / BC02 有源型） ③ 分光镜（BS55 型） ④ 单轴干涉镜组（DP01-P 型，2 套） ⑤ 外差光电探测器 （PD02-F 型，3 套，含参考光路） ⑥ 信号处理卡（DE 系列，含机箱） ⑦ 被测目标：二维运动台（平面镜） 注：图中参考光路未画出 |
| 六轴外差激光干涉测量系统 可测量运动台的六维位置姿态 ① 激光器（SL 系列单频 / XL 系列空间分离双频） ② 合光器（BC01 无源型 / BC02 有 源型） ③ 分光镜（BS55 型） ④ 三轴干涉镜组（DP03-P 型，2 套） ⑤ 外差光电探测器 （PD02-F 型，7 套，含参考光路） ⑥ 信号处理卡（DE 系列，含机箱） ⑦ 被测目标：六维运动台（平面镜） 注：图中参考光路与 z 向目标镜未画出 |
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