氟硅橡胶（FVMQ）是在甲基乙烯基硅橡胶（VMQ）的分子侧链上引入氟硅基或氟芳基而制成的聚合物。氟硅橡胶品种很多，但获得广泛应用的仅有甲基乙烯基三氟丙基硅橡胶（methyl-vinyl-γ-trifluoropropyl silicone rubber）或聚甲基乙烯基三氟丙基硅氧烷橡胶（polymethyl-vinyl-γ-trmuoropropylsioxane rubber），简称为氟硅橡胶，代号是FVMQ，也称为硅氟橡胶。
耐油、耐溶剂、耐化学药品性 氟硅橡胶与甲基乙烯基硅橡胶相比，其耐油、耐溶剂、耐化学药品性极其优良。对脂肪族、芳香烃和氯化烃溶剂、石油基的各种燃料油、润滑油、液压油以及某些合成油（如二酯类润滑油、硅酸酯类液压油）在常温和高温下的稳定性都很好。 即使与氟橡胶相比，耐油、耐溶剂性也是良好的。在相同介质、温度、时间下浸渍后均显示出了优良的耐久性，氟硅橡胶是一种在-68℃～232℃下耐非极性介质的弹性体。氟硅橡胶的耐含甲醇汽油性也比较好，即使在汽油/甲醇混合体系中，其硫化胶的硬度、拉伸强度、体积变化都很小，经500h长时间的浸渍试验后，各项物性也几乎没有变化。
耐热性 氟硅橡胶耐温范围一般为-50~+250℃。氟硅橡胶的高温分解与硅橡胶一样，即：侧链氧化、主链断裂、侧链热分解和引起各种复合反应。由于分解产物也会引起主链断裂，所以耐热性通常比VMQ硅橡胶要差一些，在200℃的温度下已开始氧化老化，但通过添加铁、钛、稀土类氧化物等少量的热稳定剂便可使其获得显著的改善，即使在250℃高温下也具有足够的耐热性。温度对氟硅橡胶影响比硅橡胶大，但比氟橡胶小。FVMQ加热到300℃以上时，会产生有毒气体。
耐寒性 氟硅橡胶与普通硅橡胶一样，低温性能良好。由于氟硅橡胶是以柔软的Si-O为主链构成的线型高聚物，所以低温特性优于以C-C为主链的氟橡胶，而差于VMQ硅橡胶。
电性能和耐辐射性能 氟硅橡胶的电性能与普通硅橡胶相近，但特别可贵之处是在高温、低温、潮湿、油、溶剂、化学药品、臭氧等苛刻条件下的电性能变化很小。氟硅橡胶的耐辐射性能并不突出，但耐辐射老化性能优于VMQ甲基乙烯基硅橡胶。
物理机械性能 氟硅橡胶与普通硅橡胶一样，硫化胶的机械强度（特别是撕裂强度）比较低。
其他特性 氟硅橡胶的耐天候老化性非常优良，即使暴露5年后，仍保持有良好的性能。臭氧是弹性体老化时生成最多的气体之一，但氟硅橡胶通过动态或静态试验后都未发现有龟裂或裂纹的现象。此外，氟硅橡胶的防霉性、生理惰性、抗凝血性也是十分良好的。
