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半导体用机械臂式全自动超声波清洗机

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更新时间：2023-08-04 19:00:21浏览次数：42次

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广东蓝鲸超声波清洗技术有限公司

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产品简介

产品特点： 1、采用独立的电脑控制机械臂自动化作业； 2、各槽配置独立抛动系统，增加硅片和溶剂的摩擦。 3、各槽配置鼓泡管路，均采用PFA材质管件制作。 4、酸槽配置冷却盘管，降低酸溶剂蒸发量；设置脊型缸盖，杜绝酸蒸汽释放到空气中，缸盖上设有喷淋系统。 5、设备槽体均采用PVDF 6mm板材制作，耐酸碱性强。 6、采用第三代，全面完善的防酸防腐措施，保护到机器每一个角落。 7、全自动补液技术，做到集中供酸和排放。配置接水盘，防止槽体漏液污染车间环境。 8、彩色大屏幕人机界面操作，方便参数设置及多工艺方式转换本产品支持非标定制，可提供设计图纸与清洗方案

详细介绍

产品详情

蓝鲸半导体用机械臂式全自动超声波清洗机，半导体超声波清洗机作业流程：装有产品的洗篮放置自动入料台上，由PLC 控制进料系统定位再通过提升机构、平移机构的配合龙门机械手依次送入各工序段，对工件进行各工序段的清洗、漂洗、脱水、干燥完成后，通过传动，自动将洗篮送出，人工卸下洗篮，即完成整个清洗过程。整机清洗部分为全封闭结构，装有可拆卸的观察检修门。设备配电设施为独立的电控柜放置进料口位置。经多年的设计制造经验证明，结构合理，并配有超纯水设备作为清洗水源是理想高洁净度清洗专用设备。

半导体产业是现代电子工业的核心，而半导体产业的基础是硅材料工业。虽然有各种各样新型的半导体材料不断出现，但 90%以上的半导体器件和电路，尤其是超大规模集成电路（ULSI）都是制作在高纯优质的硅单晶抛光片和外延片上的。

应用范围

半导体用机械臂式全自动超声波清洗机，主要运用于机械、电子、珠宝、光学、医药、涂装、汽保及真空镀膜前期处理等相关类。对于表面形状复杂的零部件，如零部件上面的凹槽、狭缝、盲孔、深孔的清洗有着高效快速的清洗作用。同时，能够清洗掉零件表面油污、锈蚀及氧化物，实现粗洗漂洗烘干一站式处理。