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标准溅射

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更新时间：2023-08-05 08:31:52浏览次数：111次

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深圳市奥坤鑫科技有限公司

经营模式：其他

商铺产品：42条

所在地区：广东深圳市

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产品简介

沉积方向：向上或向下枪口尺寸：2~4英寸(基板:~6Inch)基板温度：Max500℃(连续使用标准值)系统控制：PLC+触控(手册)可选：预处理单元,衬底偏片,Max800℃全自动数控

详细介绍

沉积方向：向上或向下
枪口尺寸：2~4 英寸 (基板 : ~6 Inch)
基板温度：Max 500℃ (连续使用标准值)
系统控制： PLC + 触控 (手册)
可选：预处理单元, 衬底偏片, Max 800 ℃
全自动数控，数据记录(PLC + PC)
6~8 英寸枪口(基板 : 6~12 英寸)可能, 单室大小可变更
溅射工艺参考