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PARECT 电空减压阀

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产品简介

本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀。半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。行业半导体制造工序（后工序）

详细介绍

【小型】
30×39×57.1（宽×高×长）。
小型、轻量，有助于装置的小型化。

【高精度】
通过电气信号，高精度、高速响应地控制流体压力。
重复性：0.3%F.S.
分辨率：0.1%F.S.
响应时间：0.1sec（无负荷）

【动作状态采用双色进行显示】
采用双色显示动作指示器，设定压力时，显示为绿色，设定以外与错误时，显示为红色。

【配管、配线作业简单】
空气配管：采用快插接头，电气配线：采用M12接头，配管、配线作业简单。

型号	名称	压力控制范围(MPa)	配管口径(Φ）	备注
EVS2-100	PARECT 电空减压阀	0.001～0.1	4, 6
EVS2-500	PARECT 电空减压阀	0.005～0.5MPa	4, 6

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