上海存简流体技术有限公司
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超纯高流量减压阀PRH PRH系列超纯高流量减压阀采用单级膜片式硬密封设计，超低漏率，内部EP电解抛光处理，超低内表面粗糙度
超纯高流量减压阀 PRH
PRH系列超纯高流量减压阀采用单级膜片式硬密封设计，超低漏率，内部EP电解抛光处理，超低内表面粗糙度。高压输入（可达3500Psi），低压输出时满足高流量的要求。适用于半导体行业使用的高纯度气体。每台减压阀出厂前都会进行单独的压力测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测。
材料
阀体：SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22
阀座：PCTFE/PI
膜片、提升阀芯： Hastelloy C-22、SS316L
使用温度PCTFE: -40~80℃
PI: -26~177℃
阀体内漏率：≤2.0x10-10 Pa･m3/sec He
阀体外漏率：≤2.0x10-9 Pa･m3/sec He
阀座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa･m3/sec He
内表面粗糙度
B：Ra≤10μin（0.25μm）
EP级：Ra≤5μin （0.13μm）
安装方式：后座安装、面板安装
进口压力: 标准及高流量款HF 1700psi (117bar)、应力补偿款FC 300psig (21bar)、 高压款HR 3500psi（241Bar）
出口压力: 1-150psi（详见选型表）
验证压力：工作压力的150％
爆破压力：工作压力的300％
| 规格 | 1/4" | 3/8"“ | 1/2" | 3/4" |
| CV值（流量系数） | 0.65（应力补偿FC）、0.9（标准）、0.15（高流量HF） | |||
| 内部容积 | 1.07in3 (17.6 cm3 ) | |||
供压效应：标准款3.5%,、高流量款HF和应力补偿款FC:4.2%
流量曲线：
端口配置：
连接选择：VCR公头、VCR母头、对焊管接头
尺寸仅供参考, 实物可能会变动。 编码 进口压力 出口压力 两端接头 A(mm) B(mm) PRH3004M/F 真空-1700psi (117bar) 1-30psi(0.07-2.0bar) 1/4"VCR公/母头 55 102/94 PRH6004M/F 2-60psi (0.14-4.0bar) 1/4"VCR公/母头 55 102/94 PRH10004M/F 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/4"VCR公/母头 55 102/94 PRH15004M/F 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/4"VCR公/母头 55 102/94 PRH3006M/F 1-30psi(0.07-2.0bar) 3/8"VCR公/母头 64 133 PRH6006M/F 2-60psi (0.14-4.0bar) 3/8"VCR公/母头 64 133 PRH10006M/F 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/8"VCR公/母头 64 133 PRH15006M/F 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/8"VCR公/母头 64 133 PRH3008M/F 1-30psi(0.07-2.0bar) 1/2"VCR公/母头 64 133 PRH6008M/F 2-60psi (0.14-4.0bar) 1/2"VCR公/母头 64 133 PRH10008M/F 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/2"VCR公/母头 64 133 PRH15008M/F 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/2"VCR公/母头 64 133 PRH3012M/F 1-30psi(0.07-2.0bar) 3/4"VCR公/母头 64 159 PRH6012M/F 2-60psi (0.14-4.0bar) 3/4"VCR公/母头 64 159 PRH10012M/F 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/4"VCR公/母头 64 159 PRH15012M/F 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/4"VCR公/母头 64 159 PRH3004M/F-HF 真空-1700psi (117bar) 1-30psi(0.07-2.0bar) 1/4"VCR公/母头 55 102/94 PRH6004M/F-HF 2-60psi (0.14-4.0bar) 1/4"VCR公/母头 55 102/94 PRH10004M/F-HF 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/4"VCR公/母头 55 102/94 PRH15004M/F-HF 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/4"VCR公/母头 55 102/94 PRH3006M/F-HF 1-30psi(0.07-2.0bar) 3/8"VCR公/母头 64 133 PRH6006M/F-HF 2-60psi (0.14-4.0bar) 3/8"VCR公/母头 64 133 PRH10006M/F-HF 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/8"VCR公/母头 64 133 PRH15006M/F-HF 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/8"VCR公/母头 64 133 PRH3008M/F-HF 1-30psi(0.07-2.0bar) 1/2"VCR公/母头 64 133 PRH6008M/F-HF 2-60psi (0.14-4.0bar) 1/2"VCR公/母头 64 133 PRH10008M/F-HF 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/2"VCR公/母头 64 133 PRH15008M/F-HF 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/2"VCR公/母头 64 133 PRH3012M/F-HF 1-30psi(0.07-2.0bar) 3/4"VCR公/母头 64 159 PRH6012M/F-HF 2-60psi (0.14-4.0bar) 3/4"VCR公/母头 64 159 PRH10012M/F-HF 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/4"VCR公/母头 64 159 PRH15012M/F-HF 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/4"VCR公/母头 64 159 PRH10004M/F-FC 真空-300psi (21bar) 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/4"VCR公/母头 55 102/94 PRH15004M/F-FC 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/4"VCR公/母头 55 102/94 PRH10006M/F-FC 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/8"VCR公/母头 64 133 PRH15006M/F-FC 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/8"VCR公/母头 64 133 PRH10008M/F-FC 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/2"VCR公/母头 64 133 PRH15008M/F-FC 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/2"VCR公/母头 64 133 PRH10012M/F-FC 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/4"VCR公/母头 64 159 PRH15012M/F-FC 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/4"VCR公/母头 64 159 PRH10004M/F-HR 真空-3500psi (241bar) 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/4"VCR公/母头 55 102/94 PRH15004M/F-HR 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/4"VCR公/母头 55 102/94 PRH10006M/F-HR 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/8"VCR公/母头 64 133 PRH15006M/F-HR 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/8"VCR公/母头 64 133 PRH10008M/F-HR 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/2"VCR公/母头 64 133 PRH15008M/F-HR 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/2"VCR公/母头 64 133 PRH10012M/F-HR 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/4"VCR公/母头 64 159 PRH15012M/F-HR 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/4"VCR公/母头 64 159
多孔端口，请在编码后加孔数+PW；本款同时可提供对焊连接(具体型号请联系存简)
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