上海赫哲真空设备有限公司
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STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STP-iXA2205 系列的新）。 该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一集成的产品易于安装且占地面积小，可作为应用工具的一体化解决方案。
| 入口法兰尺寸 | ISO250F/VG250/ICF305 |
| 前级抽气口尺寸 | KF40 |
| 抽速 N2/Ar | 2200/1900 ls-1 |
| 压缩比 N2/H2 | >108 / 1 x 104 |
| 极限压力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
| 允许的前级压力 | 266 Pa (2 Torr) |
| 大气流 N2 （仅水冷） | 3000 sccm |
| | (5.07 Pam3s-1) |
| 大气流 Ar （仅水冷） | 1400 sccm |
| | (2.36 Pam3s-1) |
| 额定速度 | 27000 rpm |
| 运转到 90% 额定速度的时间 | <8 分钟 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 输入电压 | 200-240 V |
| 大输入功率（不带 TMS） | 1200 VA |
| 重量 | 62 kg |
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