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pfeiffer 普发A3P 系列多级罗茨泵真空泵

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产品型号pfeiffer普发

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更新时间：2025-03-04 09:05:09浏览次数：3次

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苏州震拓自动化设备有限公司

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产品简介

类型：多级罗茨泵品牌：pfeiffer普发型号：A3P描述：普发多级罗茨泵

详细介绍

pfeiffer 普发A3P 系列多级罗茨泵真空泵

普发 A3P 多级罗茨泵.jpg

产品规格：

所用技术: 罗茨泵
润滑: 无油
压力级数: 多级
其他特性: 紧凑型, 低噪

产品介绍：

A3P 系列干泵降低运营成本
A3P 系列干泵：针对中型工艺的高能效技术
普发真空 A3P 系列真空泵具有三款型号可选，由于产品极大地降低了运营成本，使其在市场中脱颖而出。与以往真空泵技术相比，节约能耗可达 50％。在工艺适应性方面，该系列真空泵结合了的技术。此外，由于产品的结构设计紧凑，使其与传统的真空泵相比，可节约高达50％的空间。

优势
运营成本低
占用空间小
重量轻，组装更简易
在中型工艺中性能可靠
满足半导体生产要求

应用
半导体行业（蚀刻、离子注入、PVD 等）
太阳能光伏

用于半导体行业的干泵
A3P 系列干泵的设计是基于成熟的多级罗茨技术。泵体内部可耐腐蚀性气体。因此，在中型工艺中，该系列真空泵具有可靠性高的优点。三种型号的真空泵抽速覆盖范围广，因此，可以满足半导体中型工艺用泵的大部分要求。A3P 系列产品适合在无尘室操作，且已通过 CE 和 Semi S2 标准认证。