上海允申自动化科技有限公司
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霍尼韦尔 Zephyr™ HAF 系列传感器为的满量程流量范围及温度补偿范围内读取气流数据提供一个数字界面。隔热加热器和温度感应元件可帮助传感器对空气流或其他气流做出快速响应。这些传感器根据热传递原理测量气流的质量流量。它们由含有热电阻微桥的微机电传感系统 (MEMS) 组成，薄膜铂电阻沉积于氮化硅薄膜上。MEMS 传感芯片位于精密设计的气流通道内，提供对于流量的可重复响应。
霍尼韦尔 Zephyr™ HAF 系列传感器为的满量程流量范围及温度补偿范围内读取气流数据提供一个数字界面。隔热加热器和温度感应元件可帮助传感器对空气流或其他气流做出快速响应。 这些传感器根据热传递原理测量气流的质量流量。它们由含有热电阻微桥的微机电传感系统 (MEMS) 组成，薄膜铂电阻沉积于氮化硅薄膜上。MEMS 传感芯片位于精密设计的气流通道内，提供对于流量的可重复响应。
工作特性：
特性 参数值
供电电压 3VDC-10VDC 供电电流 20mA 工作温度范围 -20~+70℃ 补偿温度范围 0~50℃ 零点精度
满量程的 ±0.5% 响应时间
1ms（典型值） 预热时间
35ms 校准气体 清洁、干燥的气体 总线标准 I2C，快速模式（小于400 KHZ） 耐压 150psig 爆破压力 200psig
额定参数：
60PSI
特性 参数值 供电电压 -0.3VDC-11.0VDC 输出引脚电压 -0.3Vdc-3.0Vdc 储存温度范围 -40~+100℃ 流量变化 10000 SLPM/S 共模压力 流量 350 SLPM
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