苏州固展机电设备有限公司
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适用于各类供药系统，吐出量达100L/min● 高速冲程高速冲程 (FS-80N达200 spm)，让结构紧凑、重量轻、成本低，可同时用于高流量及高压力工况。● 无污染设计过流端采用氟树脂无污染构造，使用的轴封显著降低颗粒的产生(已申请)。高流量及高吐出压力吐出量高达0.7MPa，不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求，同时适用于清洗及CMP制程。● 传感器驱动系统内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。
● 高速冲程
高速冲程 (FS-80N达200 spm)，让结构紧凑、重量轻、成本低，可同时用于高流量及高压力工况。
● 无污染设计
过流端采用氟树脂无污染构造，使用的轴封显著降低颗粒的产生(已申请)。
高流量及高吐出压力
吐出量高达0.7MPa，不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求，同时适用于清洗及CMP制程。
● 传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。
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