深圳市科锐诗汀科技有限公司
ASF-140/141抽屉式单探头的详细资料:探头配置提供两种探头配置:标准型和紧凑型
ASF-140/141抽屉式单探头的详细资料:
探头配置
提供两种探头配置: 标准型和紧凑型. 标准型用于从真空室的侧面或底部安装, 冷却管与晶片是
平行的. 紧凑型用于从真空系统的顶部安装, 冷却管与晶片是垂直的. 两种型式均可带或不带
晶体挡板.
为有效地消除RF 干扰的问题, 暴露的晶体电极是妥善接地的. 为便于安装提供的外壳有 (2) 个
带螺纹的 (4-40) 孔.
法兰
INFICON 提供两种法兰的可选型号: 1" 螺栓法兰或2 ¾" ConFlat® 法兰.
法兰连接
抽屉式单探头必须同时订购法兰. 探头 / 法兰连接可采用焊接或直口接头.
直口接头易于调节, 无需钎焊或熔焊. 法兰可沿着管的长度方向移动, 在真空系统内长度的调
节范围从10 至 66 厘米 (4" 至26"). 一旦确定需要的长度, 直口接头可用手指拧紧管密封.
当探头用于关键的高温过程中时, 选用焊接的 CF40. 不锈钢和陶瓷材料适用于需高温烘烤的应用(见
技术规范).
优 点
■ 无内部电缆
■ 抽屉式晶体架
■ 易安装
■ 如订购焊接的CF40 法兰, 可烘烤
■ 可提供:
- CF40 法兰
- 2.54 厘米(1") 螺栓法兰
■ 如订购直口接头的, 可调节长度
■ 如订购直口接头的, 无需钎焊
■ 可提供焊接至用户规定长度的探头 / 法兰组合件
CDS –
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订购资料
抽屉式单探头 (带导管)
探头型号 (包括用户手册, 晶体单独销售)
标准型抽屉式单探头(水管平行于晶片) ................................ A
紧凑型抽屉式单探头(水管垂直于晶片) ………………………………………. B
挡板组装件
无................................................................................................. 0
标准挡板.......................................................................... 1
探头长度 见注 1
长度 (最小 102 毫米 (4") 至 660 毫米 (26")) ............................... F
法兰 见注 2
1" 螺栓 .......................................................................................... 3
CF40............................................................................................... 4
法兰连接
探头焊接至法兰见注 3...................................................... 7
可变长度带直口接头. (用 Ultra-Torr 直口接头
可变更探头长度)....... 8
未提供 CF40 法兰与挡板组合.
未提供下列组件: CDS-A1F48, CDS-B1F48
注 1:
无签署的尺寸图, 不能进入焊接法兰的探头订
货. 一旦专用的长度或制造订货确认后, 不能
取消订货. INFICON 将提供探头长度的技术
规范表.
注 2:
法兰配置的变更取决于所选的选件 (法兰的
型号, 和连接). 例: 由于标准 CF40 的尺寸
限制, CDS-A1F47 和 -B1F47 采用 2-件合
成的法兰结构.
注 3:
测量探头长度是从晶体的中心至法兰的真空
侧 (密封面) (见图).
注 6:
订购无焊接连接件的探头(选项“8"), 探头的
管长约为 29.75" (756 毫米).
可提供客户需要的部件, 专用的弯头和其它非标准部件
- 咨询工厂
探头
法兰
基片
源
挡板
短 6" BNC
电缆
控制器或监测器
震荡器或
XIU 震荡器 (XIU) 至仪器连接电缆
产品特点:抽屉式? 单探头允许晶体从侧面安装入探头, 适用于空间较小, 不便于前载式晶体安装的系统.
抽屉式单探头使用抽屉晶体架, 由水冷外壳热屏蔽, 确保的晶体性能
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