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CDG025D.pdfINFICONCDG025D/CDG025D-S电容膜片真空计(0.1...1000托/毫巴)NFICONSKYCDG025D电容隔膜式压力计系列高精度温度补偿压力计专为在恶劣的制造工具环境中实现稳定性能而设计
CDG025D.pdf
INFICON CDG025D/CDG025D-S电容膜片真空计(0.1 ...1000 托 / 毫巴)
NFICON SKY CDG025D 电容隔膜式压力计系列高精度温度补偿压力计专为在恶劣的制造工具环境中实现稳定性能而设计。的数字电子元件提高了仪表性能,并提供易于操作的功能,例如一键归零功能和设定值调整。耐腐蚀陶瓷传感器提供出色的零点稳定性,预期寿命长达数百万次压力循环,包括大气爆破。的传感器屏蔽(正在申请)可保护压力表免受过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件提高了EMC兼容性、长期稳定性和温度补偿。CDG025D为上电后的快速稳定性和从大气压暴露中快速恢复设定了新的标准。
INFICON 的 CDG025D 是下面列出的部件号的直接直接替代产品,可根据要求提供许多其他插入式产品。
好处
与竞争产品兼容
全刻度范围从 100 毫托 ...1000 托
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐陶瓷传感器
的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染保护
一键调零功能
电源范围广
用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
数据存储和显示制造设备
工业真空设备
常规高精度压力测量
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