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MKS GE250A和GE300A质量流量控制器

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更新时间：2025-01-16 08:57:12浏览次数：8次

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产品简介

多气体，多量程，弹性体密封的100至300slm质量流量控制器G系列GE250A和GE300A质量流量控制器是通用的，弹性体密封的MFC，适用于多种应用

详细介绍

多气体，多量程，弹性体密封的100至300slm质量流量控制器

G系列GE250A和GE300A质量流量控制器是通用的，弹性体密封的MFC，适用于多种应用。GE250A的满量程范围为100到250 slm（相当于N ₂）。GE300A的满量程范围为150到300 slm（相当于N ₂）。利用的控制算法，对模拟I / O或数字I / O均可用，以快速，可重复地响应设定值。

· 流速从100到300 slm

· Viton，Buna，氯丁橡胶或EPDM的密封件和阀塞选件

· 多种数字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模拟（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

· 标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0％

· 1-2秒建立时间