深圳市科锐诗汀科技有限公司
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UL1000Fab.pdfUL1000Fab氦气真空检漏仪（干式）ULTRATEST™传感器技术工业真空和半导体制造中真空泄漏检测的干式标准INFICONUL1000Fab氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的标准
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UL1000 Fab氦气真空检漏仪（干式）
ULTRATEST™ 传感器技术
工业真空和半导体制造中真空泄漏检测的"干式"标准
INFICON UL1000 Fab 氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的标准。
通过仪器的干式泵技术，可以消除被测部件或设备被碳氢化合物或颗粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高稳健性和经济性之间提供了的性价比。它提供的 10-12 mbar·l/s 检测极限，具备合理的短抽气时间和响应时间的特点。紧凑的设计提供了高度的机动性，方便进入空间有限的维修区域。可选的背景抑制（iZERO）功能能够在2秒内实现低于现有背景水平状态持续进行泄漏测试。
所有特性都使您能够缩短泄漏测试工作的时间，同时确保可以经济实惠地检测出所有泄漏。
好处
通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作
通过使用可选的背景抑制（Izero），避免需要进行多次泄漏测试。
通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域
通过耐用的两个热丝离子源（三年保修）和逆流式真空系统实现低拥有成本 (TCO)
通过可旋转显示、声音和灯光泄漏提示以及可选的远程控制降低应用难度
通过内置泄漏测试和自动校准程序实现低成本维护
典型应用
对清洁度要求严苛的工业真空设备制造
在将真空组件或子组件安装到现有工具中之前
真空工具的维护工作，无论是否有泵的支持
工艺气体系统的检查和安装
半导体、平板显示器或太阳能电池制造
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