广州文明机电有限公司
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■主要参数分辨率高真空模式：1.0nm(20kV) 3.0nm(1.0kV)
■ 主要参数
| 分辨率 | 高真空模式：1.0 nm (20 kV) 3.0 nm (1.0 kV)，分析时：3.0 nm (15 kV 入射电流 3 nA)， 低真空模式：1.8 nm (15 kV BED) |
| 放大倍率 | ×5 ～ ×600,000 |
| 电子枪 | 浸没式热场发射电子枪 |
| 加速电压 | 0.5 kV ～ 30 kV |
| 入射电流 | 数pA ～ 300 nA |
| 低真空范围 | 10 Pa ～ 150 Pa |
| 样品尺寸 | 200 mm直径×75 mm高、200 mm直径×80 mm高 ※1、32 mm直径×90 mm高 ※2 |
| 样品台 | 全对中，X：125 mm Y：100 mm Z：80 mm 傾斜：－10 ～ 90° 旋转：360° |
| OS、显示器 | Microsoft® Windows®10 64bit， 23.8"触摸型 |
| 真空系统 | 全自动TMP：1台 SIP：2台 RP：1台 |
■ 选配件
1. 低真空二次电子检测器 (LVSED)
2. 能谱仪 (EDS)
3. 波谱仪 (WDS)
4. 电子背散射衍射检测器 (EBSD)
5. 气锁室 (LLC)
6. 样品台导航系统 (SNS)
7. 操作面板
8. 3D测长软件
9. 操作台
10. UPS
11. 空压机
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