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直流磁控溅射电源

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直流磁控溅射电源特点：①采用标准化设计，模块化结构；②带功率因数校正③高频功率变换部分采用ZVZCS软开关技术；④可并联、串联工作，提高输出电压、电流等级；⑤能N+1备份

详细介绍

直流磁控溅射电源

特点：①采用标准化设计，模块化结构；②带功率因数校正③高频功率变换部分采用ZVZCS软开关技术；④可并联、串联工作，提高输出电压、电流等级；⑤能N+1备份。提高运行可靠性；⑥具有多重防打火保护电路，用于镀制金属膜及化合物膜。

技术指标：

1. 交流输入：单相220VAC、三相380VAC，任选

2. 功率因数：≥0.99（小功率电源） ≥0.92（大功率电源）

3. 输出波形：直流

4. 输出空载电压：≥1000V～2000V（上下限空载电压，用户任选）

5. 输出工作电压：100V～1500V连续可调（上下限工作电压，用户任选）

6. 输出电流：1A～160A，分10种规格：1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、75KW、100 KW200KW

7. 工作方式：恒压、恒电流，恒功率任选

8. 稳流精度：≤1%

9. 环境温度：-10℃～40℃

10. 冷却方式：风冷、水冷

供货周期： 10天～3个月

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