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MSB系列中频溅射电源

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更新时间：2024-09-05 10:11:01浏览次数：38次

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四川英杰电气股份有限公司

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产品简介

英杰电气中频溅射电源凭借优异的波形调制技术，可实现输出直流、直流脉冲、双向方波、双向梯型波等波形。产品具有输出波形可调，输出频率可选，占空比可调，功率控制精准，以及低能量存储和快速的电弧反应。为镀膜工艺提供便利、精准的控制。产品主要应用于各种薄膜制造工艺，太阳能电池片行业，真空镀膜行业；应用工艺：磁控溅射工艺、孪生靶溅射、管式PECVD。

详细介绍

● 机架式安装方式
● 快速的电弧响应，响应时间＜100ns
● 低能量储存，＜0.5mJ/kW
● 采用多相交错PFC技术，功率因数高达0.95
● 输出模式多样，可实现连续、断续模式可选择
● 逆变回路采用全软开关技术，采用第三代半导体SiC作功率器件，效率优异

输入	输入电压：3AC380V、50/60Hz	功率等级：20kW
输入	输出路数：2路
输出	输出电流：50A*2	输出电压：600V*2
技术指标	功率因数：0.95	转换效率：94% 额定状态下±0.5%
	调节精度：±0.5%	电弧响应时间：<100ns
	尺寸：4U	通讯：标配RS485/RS232(可选配 Profibus、Profinet、DeviceNET、EtherCAT)
注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。