四川英杰电气股份有限公司
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可适配于RLS系列射频电源使用，广泛应用于等离子刻蚀、镀膜、等离子清洗、等离子去胶等工艺。单独使用时，可与其他厂家射频电源配套使用。
● 全数字控制，匹配精度高，匹配时间短
● 采用真空电容，可靠性高，使用寿命长
● 结构紧凑，体积小，安装便捷
● 超宽匹配范围，可定制适配任意负载
● 具有手动/自动匹配功能
● 具有保持和预置设定功能
● 具有通讯功能，可独立连接上位机实时显示负载状态
● 可定制化输出接口
| 技术指标 | 控制电压：AC220V±10% |
| 传输功率：0.5~5kW | |
| 频率：2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz | |
| 匹配时间：端对端＜5s，预设点到匹配点＜0.5~3s | |
| 驻波：＜1.2 | |
| 阻抗实部：5~200Ω | |
| 阻抗虚部：+200~-200j | |
| 射频输出电压：4000Vpeak | |
| 射频输出电流：25~40Arms | |
| 输入接口：N型 | |
| 输出接口：铜排或L29 | |
| 注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。 | |
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