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M2030VA质量流量计

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产品简介

流量范围：0.01-30SLPM最小流量范围：0.01SLM韩国莱因泰可(LINETECH)高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，广泛应用于所有工业，气体混合及分析，半导体工业，光纤，燃料电池，反应器系统，气体的混合系统

详细介绍

流量范围：0.01-30 SLPM 最小流量范围：0.01SLM

韩国莱因泰可( LINE TECH )高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，广泛应用于所有工业，气体混合及分析，半导体工业，光纤，燃料电池，反应器系统，气体的混合系统。产品设计坚固、耐用，且经济。

优势：

l 测量质量流量

l 不需要温度、压力补偿

l 紧凑的流量控制系统

l 高精度（±1%F.S）

l 耐高压（90公斤）

l 量程范围广：0.01SLPM ~ 30SLPM 之间可选/

l 两种输入输出信号：0~5Vdc or 4~20mA 可选

l 两种供电方式：+15Vdc or +24Vdc 可选

l 电气连接： 15 针（D型插头）

l 快速响应时间两种：＜ 1 秒 or ＜2秒可选

l 高重复性（±0.25%F.S)

l 接头方式多样选择：SWL： 1/4″、1/8″、3/8″

VCR ： 1/4″

规格：

型号	M2030VA
流量范围（N2)	0.01~30 SLPM
响应时间	＜1 秒
精确度	±1%
重复精度	±0.25%
输入输出信号	0~5Vdc
供电	+15Vdc or +24Vdc,350mA
工作压力	15 Bar
工作温度	0~50℃
漏率	1×10-9 atm.cc/sec
控制范围	2~99%

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