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ALICAT质量流量控制器 21V系列带集成截止阀

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无锡市三环仪器有限公司

经营模式：其他

商铺产品：315条

所在地区：江苏无锡市

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产品简介

应用及案例●大学/研究所●真空行业及镀膜●半导体●光伏●过程工艺气体测量产品特色数字化产品带气动截止阀

详细介绍

应用及案例

● 大学/研究所
● 真空行业及镀膜
● 半导体
● 光伏
● 过程工艺气体测量

产品特色

数字化产品
带气动截止阀，泄漏率低
多参数显示和输出：温度、压力、流量等
多参数控制:体积流量、质量流量和压力
标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板
可选高精度：可优于0.5%
量程比 200:1
响应时间快仅需100ms(可调)
内置98种气体
现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气