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SEC-8000F高温质量流量控制器

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产品简介

概要SEC-8000F/D系列,可以在高温环境下工作,实现超洁净状况下百万分之一级别的超小流量的分析与控制，能够满足复杂多变的半导体制程需求

详细介绍

概要

SEC-8000F/D 系列, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之一级别的超小流量的分析与控制，能够满足复杂多变的半导体制程需求。而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。

特征

具备数字式流量计的高精度性能-高控制精度：±1.0% 设定流量.
超快速响应
超洁净处理
满足RoHS 环境标准

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