特性
双级设计可实现低至 10-3 mbar 的工作压力和低操作温度，并减少了低压下的返油现象，同时在 10-2 mbar 的低压范围内具有良好的抽气速率和气镇效果
在范围内提供单相或三相电机，适用于所有电压和频率。可轻松选择操作电压，提供了更大的灵活性，有利于规划和减少库存
防返油阀和放空装置在泵停止运行或闲置时将其隔离，同时可以防止在泵关闭或断电故障时真空系统的不当放空和泵油污染
插座型 IEC320 允许使用标准电源线，无需打开盒盖板为电机接线
气镇阀打开时，向泵的第二级注入干燥的空气，此操作将使模块升温，从而有助于排气并清除泵油产生的水蒸汽或其他可冷凝气体
性能指标
宽度 | 164 mm |
尺寸（宽 x 高 x 长） | 164 mm x 242 mm x 541 mm |
抽速 (50 Hz) | 17.4 m3/h |
抽速 (60 Hz) | 12.3 cfm |
排气口连接 | 25KF DN |
最小/油量 | 0.5/1 l |
极限分压 | 10-4 mbar |
极限总压力（带气镇） | 1∙10-2 mbar |
水蒸汽泵容量 | 350 g/h |
水蒸汽耐受性 | 30 mbar |
自由气体置换 | 50 Hz: 342 L/min 60 Hz: 410 L/min 50 Hz: 20.5 m³/h 60 Hz: 14.5 cfm |
转速 | 1500 rpm |
输入电压 | 单相电机 100-120/200-230V ±10%，50/60 Hz 3 相电机 200-220/380-415V ±10%，50 Hz 3 相电机 200-230/460V ±10%，60 Hz |
进样口连接 | 25KF DN |
重量 | 35 kg |
长度 | 541 mm |
高度 | 242 mm |
