科迪仪器（苏州）有限公司
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利用微小的X射线束流来进行微小的异物分析
虽然从微小的异物得到的信号量不随照射异物的X射线束流大小而改变，但是从底材得到信号随着束流的减小而减小，相对来说，从异物得到的信号跟底材的比增强。于是，微小的X射线束流在进行微小的异物和样品时，发挥着重要的作用。
方便简单的多点分析和成像
利用多彩的扫描方法，自动的测量样品的表面，简单明了的表示出2维或者3维的元素分布，膜厚组成分布等的成像。
自动完成分析报告
如果以A来表示含有异物分的能谱、以B来表示正常
部分的能谱、那么A-B表示的差就是能谱差异。中心
线在边界的正方向表示出来的曲线是异物的成分，
在负方向表示出来的曲线是素材的成分。利用这个
能谱的差异，可以简单的同定出异物。
产品规格
可测元素： Na-U 定性功能： KLM标示、ROL设定 检测器： Si Li半导体检测器 元素分析： 自动辨别测量 准直器： 2个（自动设定） 应用功能： 用户自主设定 滤波器： 一次滤波器（自动设定） 自动测量： 三维电动控制 样品观察： CCD摄像机 数据处理： MS-EXCEL搭载 测定软件： 薄膜FP法、检量线法 报告生成： MS-WORD搭载
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