直流磁控溅射电源 |
技术指标:
1. 交流输入:单相220VAC、三相380VAC,任选
2. 功率因数:≥0.99(小功率电源) ≥0.92(大功率电源)
3. 输出波形:直流
4. 输出空载电压:≥1000V~2000V(上下限空载电压,用户任选)
5. 输出工作电压:100V~1500V连续可调(上下限工作电压,用户任选)
6. 输出电流:1A~160A,分10种规格:1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、75KW、100 KW200KW
7. 工作方式:恒压、恒电流,恒功率任选
8. 稳流精度:≤1%
9. 环境温度:-10℃~40℃
10. 冷却方式:风冷、水冷
供货周期: 10天~3个月