哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司
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一.产品简介HUE-F系列光纤微探头式激光干涉仪是哈尔滨工业大学研发、哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司生产的新一代高精度嵌入式激光干涉仪
一.产品简介
HUE-F 系列光纤微探头式激光干涉仪是 哈尔滨工业大学研发、哈尔滨超精密装 备工程技术中心有限公司生产的新一代 高精度嵌入式激光干涉仪。
哈尔滨工业大学科研成果
在国家重大专项前瞻性课题应用
5 项国际发明、15 项中国发明申请
二.HUE-F 系列产品核心技术参数如下：
实际位移测量分辨力 ≤0.4nm@1532.8nm 传感探头尺寸(最小) ≥φ4mm×12mm
激光频率稳定度(3h) ≤50ppb 干涉仪非线性误差 ≤0.5nm
微探头类型 | 工作距离 | 测量范围 | 测量对象特征 | 特点 |
准直式 | 1cm…1m （可定制） | 1cm・・・・1m | 反射率≥4% | 测量范围大 |
汇聚式 | >1cm （可定制） | F±5mm | 反射率≥4% | 测量光斑小 |
Note:表中F为汇聚式传感探头焦点距离。
三.HUE-F 系列产品特征与优势
微型化嵌入式传感方案！
解决了传统激 光干涉仪难以在极狭小空间、恶劣环境 下测量的难题。测量头体积小巧、绝不 发热，可定制，用户不再为难以安装、 热污染干扰而烦恼！
激光波长量值溯源！
波长采用 1532.8nm， 以乙炔的 P13 峰为基准，激光波长溯源 至美国国家标准与技术研究院(NIST)。
核心部件国产化！
受到外方技术，包 括激光管，信号处理卡等高精度激光干涉 仪核心部件的采购，需经外方政府机构严 格审查。本产品核心部件来自国内，用户再也不用担心因卡脖子技术难以供货。
专家级成套解决方案！
针对不同的实际测量需求，依托本公司专家团队，可提供超精密测量成套解决方案！
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