上海沃盾精密设备科技有限公司
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激光干涉仪VeriFire
菲索型激光干涉仪，具有的环形光源伪迹消除
抑制技术，是一种高精度、共光路面形计量干涉仪。ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire激光干涉仪，继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的一切优点，交融了机械相移技能、革命性的数据收集技能、高性能的光电成像系统、振荡补偿软件、非球面测量技能和波纹抑制技能等，是ZYGO技术的集中体现。Zygo新推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。
测长仪系统:
◆测量功用：精细测量各种反射面和光学系统的表面面形、精细测量光学系统的传输波前
◆测量技能：机械相移干涉测量（PSI）
◆校准系统：快速条纹采样系统(QFAS)(双光点定位于十字线)
◆测量光束直径：4″（102mm）或6″（152mm）
◆对准视场规模FOV：4″：±3°；6″：±2°；
◆光学中心线：4.25″（108mm）
◆激光光源：大功率稳频氦-氖激光，III
◆波长：633 nm
◆频率稳定度：<0.0001 nm
◆相干长度：＞100m
◆成像分辨率：1000 x 1000像素
◆帧速：43Hz
◆数据收集时刻：302ms
◆数据形式：8位
◆扩大：电控数显扩大1-5X
◆偏振：挨近圆偏振（1.2：1或许更好）
◆光曈调焦规模：4″：±2.5m；6″：±5.5m；
◆计算机和软件：高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO软件MetroproTM X和MetroproTM 9
◆安装构造：水平卧式或垂直立式
◆附件：详细参考ZYGO激光干涉仪附件导游文件，OMP-0463
◆尺度(长x宽x高)：4″：69 x 31 x 34 cm(27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm（36.4 x 12.1 x 13.4 in.）
性能参数：
◆RMS重复性：<0.06 nm,λ/10,000(2σ)
◆RMS波前重复性：<0.35 nm,λ/1800(mean+2σ)
◆像素峰值误差：<0.5 nm,λ/1200(99.5th%)
工作环境：
◆温度:15°C-30°C(59°F-86°F)
◆温度改变率：＜1.0°C/15min
◆湿度:相对湿度5%-95%,无凝结
◆隔振:机械移相测量形式推荐运用被迫隔振系统。
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