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超精密加工:在机械加工领域中，某个历史时期所能达到的加工精度的各种精密加工方法的总称
超精密加工:在机械加工领域中，某个历史时期所能达到的加工精度的各种精密加工方法的总称。 超精密加工特点： (1) 相对性，随时间的推移而变化; (2) 不普及性、保密性; (3) 属于技术; (4) 与测量技术密切相关; (5) 国际竞争中取得成功的关键技术。 目前，如果从零件的加工精度来划分的话，可以把亚微米以上精度(尺寸精度高于0.1m，Ra小于0.025 m)的加工称为超精密加工。
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