喜开理（中国）有限公司
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是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响应，电子部件等的吸附确认。行业半导体制造工序（后工序）
【超小型、轻量】（FSM-X系列）
通过分离传感头实现了超小型化。
实现了比以往体积减少52%，轻量4G、8mm。
产品包括传感头单体和带流路模块两种类型。
【非线性特性】（FSM-X系列）
将模拟输出作为非线性特性，提高了低流量领域的分辨率。
【高速响应】（FSM-V・FSM-X系列）
实现了以往无法实现的5ms的高速响应设计
【双方向测量】（FSM-V・FSM-X系列）
可进行双方向测量，吸附确认用途。
| 型号 | 名称 | 配管口径（Φ、M) | 备注 |
|---|---|---|---|
| FSM-X | 流量开关（非线性） | 4,5 | |
| FSM-V | 流量传感器（线性） | 1.8,4,5 | |
| FSM-V-D | 显示器 | - | |
| FSM-VFM | FSM・FSM-V专用直管型过滤器 | - | |
| FSM-A | 模拟输出1点 | 2009年03月31日 销售中止【停产产品】 代替产品：FSM2系列 | |
| FSM-N | 开关输出PNP 2点、模拟输出1点 | 2009年03月31日 销售中止【停产产品】 代替产品：FSM2系列 | |
| FSM-P | 开关输出PNP 2点、模拟输出1点 | 2009年03月31日 销售中止【停产产品】 代替产品：FSM2系列 |
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