UR系列自动压力调节器是具有高精度压力传感器、高分辨度和快速反应压电陶瓷做动阀门的电子调节器。它通过接收到的外部控制信号对压力进行控制。气体接触区域的全金属结构设计(金属型号)使这些部件非常适合于那些超纯气供应系统的超洁净环境压力控制。
HORIBA STEC公司的质量流量控制器在流体流速的精确控制方面是非常有名的,并且它在市场的也获得了非常大的。HORIBA STEC公司将自己的质量流量控制技术运用到了新的领域---压力控制。HORIBA STEC公司的这套压力控制系统包含了UR系列超洁净自动压力调节器;对于GR-300系列产品而言,它是通过与质量流量控制器工程师们一起合作而开发的小尺寸的芯片背面冷却系统;EC系列产品是为反应室内部控压而设计的排气压力控制器;而PV系列快速反应系统是以金属密封圈封装的压电陶瓷阀门为特色的。HORIBA STEC公司也可以提供那些通过多维空间技术设计的流量和压力控制系统。