设备特点: 1、单室立式结构,主要由炉体、炉盖、炉底及升降机构、发热元件、真空系统、温场、供气系统、水冷系统、电控系统等组成; 2、炉身采用双层水冷结构,上下法兰组焊成筒形结构,内壁为304不锈钢精细抛光以保证高真空度,外壁为 304 喷砂处理,中间通水冷却。不锈钢法兰平面开设密封槽,采用“O"型氟橡胶圈真空密封,为防止温度过高使“O"型圈老化, 在法兰处均设有水冷装置。在炉体的侧面设有一个监测热偶,观察窗,进气口及两个电极接口和一个真空抽气口与真空机组连接,监测热电偶用来监测侧面金属隔热屏的温度,防止隔热屏外部的温度过高,引起事故。 3、炉盖同样采用双层水冷结构,且上下大炉盖及中心小炉盖均为双层水冷平盖结构,内壁为 304 不锈钢精细抛光,以保证高真空度,外壁同样为304不锈钢与法兰组焊接而成,中间通水冷却。大炉底与中心小炉底采用快卸式锁紧结构,方便小炉盖的开启和关闭,大炉盖与炉体之间采用螺栓锁紧结构,并且采用“O"型颌橡胶密封以保证高真空度,炉盖上设有钨铼热电偶测温口,安全阀装置,排气口等。 4、炉底及升降机构:炉底采用与炉盖同样的结构,且在中心小炉底上设有承料台,采用下部进出料方式,升降系统由直线导轨装置组成。 5、真空获得及测量系统: 真空获得系统由一台 K-100 扩散泵加冷阱、一台 TRP-36 直联机械泵、真空管路、放气阀, 手动蝶阀,真空压力表等组成。 |
设备使用注意事项 | 1、随时注意炉盖、炉体、炉底及水冷电极的温度,不能烫手,否则要停止加热,检查水路是否畅通。 2、真空度如抽不上时应检查扩散泵内油是否被氧化,以及机械泵是否老化,如老化应及时更换。 4、充保护性气体时应注意观察真空压力表的数值,不能超过正压(一般在0以下2-3个格处及-50Pa左右,炉内还是负压)。要注意气体有受热膨胀的特性,如果接近正压时,可以打开机械泵和预抽阀把气体抽走一部分。 5、装料时一定要注意不要碰到石墨发热体(有锯缝的),因为发热体烧过以后易碎,造成不必要的损失。 6、平时应注意对炉内,炉外的保洁,真空阀的维护工作。 7、开启水泵后应注意检查各个阀门是否全部打开,并且连接水管无滴水的现象,如有应及时排除。 |