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苏州拜特微光电科技有限公司
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品 牌
厂商性质其他
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百分零部件网采购部电话:0571-88918531QQ:2568841715
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更新时间:2024-04-22 08:01:02浏览次数:177次
产品分类 品牌分类
全部产品列表
经营模式:其他
商铺产品:2条
所在地区:
联系人:孙工
光学3D表面轮廓仪,又称白光干涉仪,它是以白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检测的仪器。光学3D表面轮廓仪是以非接触的扫描方式,实现针对样品表面的重复精度的3D测量,获取表征样品表面质量的2D、3D数据。光学3D表面轮廓仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。光学3D表面轮廓仪可广泛应用于对器件表面质量要求高的半导体、3C电子屏幕等器件、太阳能印刷薄膜、光学加工、纳米材料等工业企业领域,以及高校、所、科研院所等计量、研究性质单位
技术规格 Technical specifications
型号
W1
W2
光源
白光LED
标配影像系统
1024×1024(2048×2048可选)
标配干涉物镜
10×(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
标配光学ZOOM
1×,(0.5×、0.75×可选)
标配视场
0.49*0.49mm
******视场
6*6mm
物镜塔台
3孔手动
XY位移平台
尺寸
320×200mm
320×320mm
移动范围
140×110mm
200×200mm
负载
10kg
控制方式
电动
水平调整
±4°手动
±电°手动
Z轴聚焦
行程
100mm
Z向扫描范围
10 mm
Z向分辨率
0.1nm
可测样品反射率
0.5%~99%
粗糙度RMS重复性
0.005nm
台阶测量
准确度
重复性
0.75% 1σ
0.1% 1σ
3D表面轮廓仪/白光干涉仪
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