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更新时间:2024-05-12 07:26:08浏览次数:24次
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角锥反射镜干涉仪适合长距离和高速应用
角锥反射镜干涉仪适合长距离和高速应用。
RLD10发射头内含有干涉镜组、的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。
多轴解决方案 — 单轴和双轴角锥反射镜系统为多轴应用提供理想解决方案。
长距离和高速度 — 角锥反射镜干涉仪发射头适合具有更长距离和更高速度的应用,此时平面镜干涉仪可能不适用。
敏感环境 — 还提供低功率型号,适合功耗要求低于标准RLD特定值(即 < 2 W)的应用。
模拟正交 = λ/2 (316 nm)数字正交 = 20 nmRPI20分辨率 = 77.2 pm
系统非线性误差* (SDE)
*不含接口
对于长度超过4 m的轴,请查看HS20激光尺系统,它支持长达60 m的轴。
对于非真空应用,为了维持变动环境条件下的精度,需要某种形式的折射率补偿。雷尼绍提供RCU10实时正交补偿系统,用于对环境变化进行补偿。雷尼绍供应的角锥反射镜可能不适于真空或接近真空的应用。
RPI20并行接口集成到RLE系统中,可达到38.6皮米的分辨率(平面镜配置)。对于具有数字输出的增强分辨率,雷尼绍的REE系列细分盒能够提供0.395 nm的分辨率(平面镜配置)。该接口可接收差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号,并提供并行输出格式。有关附件的详细信息,请参见RCU10补偿系统和激光尺接口。
RCU10实时正交补偿器
RLD10角锥反射镜干涉仪
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