矽翔微机电系统（上海）有限公司成都分公司
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LF6000系列微液体流量计采用公司自主研制的MEMS热飞行时间（TTOF）传感和封装技术制造。产品量程比宽，精度高，可靠性好。产品外壳材料为化学性能稳定的PEEK，的MEMS传感器芯片结构和特殊的封装技术使得传感器工作压力可达到1.0MPa。应用领域包括各类微液体流量计量、制药过程控制、化学计量、基因测序、科研实验和医疗自动化等。
LF6000系列微液体流量计采用公司自主研制的MEMS热飞行时间（TTOF）传感和封装技术制造。产品量程比宽，精度高，可靠性好。产品外壳材料为化学性能稳定的PEEK，的MEMS传感器芯片结构和特殊的封装技术使得传感器工作压力可达到1.0MPa。应用领域包括各类微液体流量计量、制药过程控制、化学计量、基因测序、科研实验和医疗自动化等。 
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