矽翔微机电系统（上海）有限公司成都分公司
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FS4003/08系列气体质量流量传感器是专为普通气体流量检测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，不需要旁路设置，压损小。该传感器既可用于净化行业中空气或氮气的流量监控，也可用于环境检测行业（如大气采样器）和分析仪器（如色谱分析仪）等。FS4003，管道内径为3mm，测量范围到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。FS4008，管道内径为8mm，测量范围到50SLPM；可用于气体测量和控制设备、、环境检测仪、大气采样器和各类分析仪器。
FS4003/08系列气体质量流量传感器是专为普通气体流量检测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，不需要旁路设置，压损小。该传感器既可用于净化行业中空气或氮气的流量监控，也可用于环境检测行业（如大气采样器）和分析仪器（如色谱分析仪）等。FS4003，管道内径为3mm，测量范围到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。FS4008，管道内径为8mm，测量范围到50SLPM；可用于气体测量和控制设备、、环境检测仪、大气采样器和各类分析仪器。 
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