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HPL82蓝宝石压力传感器

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更新时间：2024-05-27 11:19:41浏览次数：121次

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南京航伽电子科技有限公司

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产品简介

应用领域：工业现场过程压力控制、航空航天领域、航海及造船行业、石油、化工行业、各科研院所的实验室设备等

详细介绍

产品详情

蓝宝石系列压力传感器由蓝宝石单晶绝缘体元素组成，刚度强不会发生滞后、疲劳和蠕变现象；蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘特性（1000℃以内），对温度变化不敏感，即使在高温条件下，也有着很好的工作特性。蓝宝石的抗辐射特性；硅-蓝宝石传感器采用硅外延技术在蓝宝石膜片上生长一层硅薄膜，然后采用光刻工艺生成硅桥路，采用重度掺杂工艺生成应变电阻。蓝宝石上生长的硅桥路无 p-N 节从而对辐射不敏感，同时不受结温温度上限的影响可制作更高温度测产品。采用的重度掺杂工艺可减小硅桥路在高温条件下的 2 次污染。从而蓝宝石可应于各种复杂的工况、环境场合. 传感器有双膜片结构何但膜片结构组成：双膜片结构产品由钛合金测量膜片和接收膜片组成。接收膜片是在钛合金膜片上高温熔焊的蓝宝石膜片，测量膜片与接收膜片之间采用金属硬连杆连接，用熔焊或激光焊连接在一起。被测压力传送到接收膜片上。在压力的作用下，钛合金接收膜片产生形变，该形变被硅-蓝宝石敏感元件感知后，其电桥输出会发生变化，变化的幅度与被测压力成正比。电桥电路将电桥的失衡信号，转换为电压信号输出。