沈阳北博电子科技有限公司
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数字化系统协同设计、MEMS工艺制造谐振工作原理健壮、本征数字输出信号
1、主要特点：
数字化系统协同设计、MEMS工艺制造
谐振工作原理健壮、本征数字输出信号
振子真空微囊包裹结构、高Q值长期稳定
差频工作模式、分辨率和灵敏度高
适于表压、绝压、差压高精度测量
覆盖低、中、高宽压力量程范围
2、主要性能技术指标
序号
项目
规格指标
备注
1
压力类型
表压、差压
绝压
绝压
基准压力量程
0～1kPa、2kPa、3kPa、6kPa、10kPa、20kPa、30kPa、60kPa、100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10MPa
100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa
1*
2
过载能力
≥3倍基准量程（≤10MPa）；≥1. 5倍基准量程（＞10MPa）；≥1. 25倍基准量程（≥60MPa）
1*
被测介质
与金属、单晶硅、玻璃兼容的非腐蚀性、绝缘气体和液体
3
激励电源
5～24 Vdc
4
准确度
≤ ±0.05%FS，≤ ±0.02%FS，≤ ±0.01%FS
2*、3*
5
工作温度范围
-55～+125℃
6
补偿温度范围
－55～＋85℃
7
典型工作频率
30～50kHz
2*
8
灵敏度
2～15Hz/hPa
2*
9
Q值
＞20000
10
长期稳定性
±0.02%FS/年
2*、
11
电流消耗
3.5mA
12
绝缘电阻
>100MW
8*
13
电气连接模式
接插件、多芯线缆
14
测量接口形式
螺纹、法兰
6*
注：1*. 可用户定制；
2*. 5VDC恒压激励，恒温25℃；
3*.非线性数据计算为最小二乘法；
4*. 100VDC。
注：可提供定制服务，如有需求请与营销人员联系。
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