佛山诺亚电器有限公司
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产品名称：100kW直流磁控溅射电源输入电压：三相380V/50HZ正弦交流；输入电流：≤50A；输入电压误差：≤额定值的±10%；三相供电电压不平衡率：≤5%；输入过压保护：≥420V；输入欠压保护：≤350V；开机过冲电流：≤150A。输出恒定模式：恒流；电源输出电压：≤1kV；电源输出电流：0-20A（可调）；输出纹波：±1%；输出功率：≤20kW；输出过压保护：≥1.1kV；输出过流保护：≥22A；输出有短路保护；内部温度报警阈值：65℃；冷却方式：风冷+水冷。海拔：工作时海拔不超过4500米；使用环境温度：0°C～40°C；储存温度：0°C～70°C；空气相对湿度≤90%；无冷凝水或结冰；空气中不得含有腐蚀性蒸汽、颗粒、导电颗粒以及吸潮后会变成导电的颗粒；
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此电源柜可根据客户工艺要求，并联电源模块任意扩大功率进行组柜。
电源模块可编程功能强、控制灵活、工作稳定、质量可靠、性价比可观，是离子镀膜设备更佳选择。此外还具备灭弧与工作灭辉自适应、可编程适应各种镀膜工艺；具备无人值守、连接物联网、无缝高低压可编程切换、可编程短路电流等优点。
具备完善的欠压、过压、过载和过热等保护及显示功能；该电源的反馈控制系统已完善和优化，能有效抑制工频纹波及保证较高的控制稳定精度。
适用于等离子体表面处理、等离子体加热、等离子体烧结、等离子体热处理、等离子体热加工、等离子合成、化工超微提纯、气体放电光源、磁流体发电、超导磁场、等离子体屏蔽、恒转矩电力拖动等工业处理。
在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷、汽车、家电、日用包装、工艺装饰等工业领域得到广泛的应用。
电源模块输入参数：
输入电压：三相380V/50HZ正弦交流；输入电流：≤50A；输入电压误差：≤额定值的±10%；三相供电电压不平衡率：≤5%；输入过压保护：≥420V；输入欠压保护：≤350V；开机过冲电流：≤150A。
电源模块输出参数：
输出恒定模式：恒流；电源输出电压：≤1kV；电源输出电流：0-20A（可调）；输出纹波：±1%；输出功率：≤20kW；输出过压保护：≥1.1kV；输出过流保护：≥22A；输出有短路保护；内部温度报警阈值：65℃；冷却方式：风冷 + 水冷。
环境要求：
海拔：工作时海拔不超过4500米；使用环境温度：0°C～40°C；储存温度：0°C～70°C；
空气相对湿度≤90%；无冷凝水或结冰；空气中不得含有腐蚀性蒸汽、颗粒、导电颗粒以及吸潮后会变成导电的颗粒；
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