昆山普奥亚光学技术有限公司
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MMC600/900用于平面飞刀铣削加工,可加工平面、多面棱体、锥体等;可配置在线测量平面激光干涉仪(6或12英寸). 在线订购
-天然大理石龙门架结构, 主动隔振系统
-主轴气浮轴承技术,飞刀盘直径60-400mm可选,转速3000RPM
-X气浮轴大行程设计,900mm; Z轴双V型机械轴承导轨,行程420mm
-Y轴或B+C轴(二维可调倾斜工作台)可选,可加工球面、多面棱体、锥体等零件
-针对薄形零件加工的真空夹具(半导体器件减薄,光学晶体减薄等)
-多种测量系统可选: 6或12英寸平面激光干涉仪，在线工件厚度测量头等
-加工精度: P-V 100nm(100mm), Ra<2nm
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