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1100℃流化床CVD(FBCVD)炉 (配φ22mm法兰用于粉末CVD)
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合肥科晶材料技术有限公司·更新于2024-07-11 16:45:12·149次访问
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流化床区域

· 在炉管内部的一个横截面上能到达一个均匀的气流分布

· 固体颗粒通过上升的气体,稳定地悬浮在一个区域

· 对于每一个样品颗粒都能达到一个地热交换和包覆效果

· 打开密封法兰,处理好的材料可从炉管顶部倒出

注意:气体以足够高的流速上升穿过微孔石英板使粉末漂浮起来。然而如果气体流速太高,粉末可能会飞出石英炉管。所以用户需根据粉末的颗粒度,调节气压和流速,使粉末稳定地漂浮在炉管中心。

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微孔石英板

· 石英管内焊接有一个微孔石英管,炉管顶部和底部进气,强制气体对流,使粉末样品颗粒均匀漂浮在加热区中心

   微孔石英板:多孔: 15~40 um,尺寸:Φ 22mm  x 4mm (厚)

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可选炉管

可选SS310不锈钢罐,可高温高压使用

温度:800℃

气压10MPa(安装有一个自动泄压阀)

可增加ALD系统,与设备配合,对粉体材料包覆

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炉体结构

双层壳体结构,并带有风冷系统

炉体开启式设计,方便更换炉管

采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,提高加热效率


功率

1200W


电压

AC208~240V  单相   50/60Hz


工作温度

1200℃(<>


连续工作温度

1100℃


加热速率

20℃/min


炉管尺寸和材质

1根异形石英管,两端细,中间粗

两端:外径25mm×内径22mm,  中间:外径50mm×内径44mm

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密封法兰

底部法兰:配有一套直径为Φ25mm,安装有机械压力表,阀门和Φ6.35mm通气接口

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可选

可选购混气系统,用于CVD或ALD实验

可选购氧传感器,来检测炉管内部的氧含量

可选购超声喷雾系统,可将液体前驱体雾化到炉管内部

可选购自动粉料进料机构

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加热区

200mm


恒温区

60mm


加热元件

 Fe-Cr-Al 合金掺 Mo


温控系统

· 可设置50段程序段:加热速率,降温速率和保温时间

· PID方式调节温度,温度自整定功能,带有超温&断热电偶报警

· 超温保护和报警,避免操作事故发生

· 控温精度:±1℃

K型热电偶


设备尺寸

340mm×300mm×1000mm ( W x L x H)


净重

~20Kg


电脑&软件(可选)

Labview温度控制软件系统(MTS01)可用于用电脑控制炉体:编辑温度程序参数和导出实验数据

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质保

一年质保期,终生维护(不含炉管,密封圈和加热元件等耗材)


质量认证

CE


警告

此管式炉炉管为石英管可在低压或常压环境下使用,炉管内正压需<>

注意:气瓶上必须安装双级减压阀,出口气压需减到0.02MPa

当设备使用温度≧1000℃时,为防止炉管变形,炉管内必须为常压,不可为负压


合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是合肥物质科学研究院的下属企业。(更多内容请点击“企业展示中心”) 公司目前主要从事氧化物晶体(A-Z)系列材料研发生产、溅射靶材制备和材料实验室及电池研发全套设备。公司从成立之初研发高温超导薄膜基片大尺寸LaAlO3单晶做起,目前MgAlO4、NdGaO3、LSAT、3英寸LaAlO3等晶体是行业供应商。设备研发的各种高温炉,大尺寸高温高压炉,热等静压炉,单晶生长炉等,用于石墨烯、高通量、蒸发镀膜、高温超导薄膜、超导块材和线材的制备设备,涉及新能源材料,电池制备等成套设备,并为科研工作者提供材料研究解决方案,已经成为企业。(更多内容请点击“根据应用寻找设备”) 公司先后被认定为国家“企业”,安徽省企业技术中心,安徽省“专精特新”企业,合肥市工业设计中心等荣誉称号;公司材料实验室被认定为安徽省光电晶体材料装备技术工程研究中心。产品远销美国斯坦福、麻省理工学院、哈佛大学、英国牛津大学,新加坡国立大学等世界所有高校、苹果、惠普、巴斯夫、特斯拉等国际公司,以及国内985、211高校、中科院物理所、核能所等高校科研院所也是我公司忠实用户。(更多内容请点击“客户案例”) 公司自成立以来,十分重视科技创新和产学研合作工作,尤其是把“纳天锡人士,铸科晶伟业”作为重要工作来抓,董事长江晓平博士亲自带领一支高素质和强大创造力的高水平人才团队,并与合肥物质科学研究院等高校科研院开展紧密的产学研合作,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展作出贡献。科晶设备公司自2002年涉足材料制备研发设备,十多年来不断追求产品品质,力求精益求精。从混料球磨、压片成形、高温烧结到样品切割、磨抛成相,再到薄膜制备和电池制备,公司不断研发制造用于材料制备的全套解决方案,全面满足各领域产品制备需求,努力为客户打造一站购齐式服务体验。科晶晶体与材料1997年公司成立之初,主要研发生产超导基片。经过二十三年的发展,目前自主研发的MgAlO4、NdGaO3、LSAT、3英寸LaAlO3等晶体是世界供应商。从晶体到靶材、薄膜,再到蒸发料、粉料、金属丝箔及纳米材料,上千种材料的丰富供给,构建起行业的科研材料产品体系。需求全套解决方案为客户提供产品的成套解决方案,全工艺链的产品以及非标定制方案,努力为客户提供一站购齐式服务。另外还为客户提供实验室解决方案,帮助客户制定实验室规划,与辅助设备建议。应用技术实验室安徽省级企业技术中心,是一个集材料制备、样品检测及技术服务于一体的多功能共享实验室,客户可以使用科晶实验室进行材料制备及检测、工艺探索和应用技术交流,同时实验室团队可以为客户提供工艺培训,实习,实验代加工,联合项目等多种服务项目。售后维修从产品支持到售后保障,科晶公司专业的售后服务团队全年不间断的为客户提供线上,线下维修服务,全面保证客户设备的正常使用,做到购买产品,终身维护。实验安全科晶重视客户的实验安全,针对一线设备使用的科研人员,提供全公益性质的线上或线下,标准或定制的设备与药品技术支持与培训,以及针对性的安全相关设备开发。
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