哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司
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一.产品简介DP01-P是由哈尔滨工业大学研制、哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司开发的系列高精度单轴激光干涉镜组
一.产品简介
DP01-P 是由哈尔滨工业大学研制、哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司开发的系 列高精度单轴激光干涉镜组。DP01-P 镜组采用平面镜光学四细分结构，不同进光方案适合 不同用户需求，适用于超精密线位移、角位移测量等各类工业应用及科学研究场合。
二.DP01-P 型单轴激光干涉镜组技术规格
| 测量特性 | 分辨力 | 刀4 （光学四细分） |
| 热漂移系数 | W40 nm/K | |
| 非线性误差 | 优于±1nm | |
| 光机特性 | 光束直径 | 9mm |
| 输出效率 | 25% | |
| 测量点公差 | 平均值±0.15mm,偏差值±1mm | |
| 角度容差 | ±1.5mrad | |
| 光束平行度 | V50Nrad （单轴测量光与参考光之间） | |
| 工作环境 | 温度 | 可工作范围18℃-25℃ |
| 推荐范围20±1℃, 30 min内变化W±0.1℃ | ||
| 相对湿度 | 30% - 60% | |
| 物理特性 | 尺寸 | 38.1mmX42.1mmX 58.1mm （包含殷钢外壳） |
| 重量 | 0.5 kg | |
| 共振频率 | ＞1kHz |
三.DP01-P型单轴激光干涉镜组机械尺寸
DP01-P型单轴激光干涉镜组机械尺寸
（图中尺寸只做位置说明，不用于生产加工）
配套激光耦合头安装架机械尺寸
（图中尺寸只做位置说明，不用于生产加工）
1.TBD系列单轴激光干涉镜组两具体型号机械尺寸相同。
2.入射光可由俯视图中左侧或右侧通孔进入，另一孔输出空间干涉光束，可安装配套的干涉光束耦合器。
3.可根据实际测量需求定制干涉镜组。
四.DP01-P型单轴激光干涉镜组部件清单
镜组1套（包含殷钢保护壳）；配套耦合头安装架（可选）；配套耦合头及尾纤（可选）
规格价格如有变更，恕不另行通知。版权所有，包括以上任何形式复制整个或部分文件的权利。
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