哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司
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一.产品简介XP01-P-B是由哈尔滨工业大学研制、哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司开发的高精度空间分离单轴激光干涉镜组
一.产品简介
XP01-P-B是由哈尔滨工业大学研制、哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司开发的 高精度空间分离单轴激光干涉镜组。XP01-P-B镜组采用自主的空间分离光路结构，具 有超低周期非线性指标；采用光纤准直/耦合器件粘接工艺，保证了光束出色的平行度与稳 定度，适合要求苛刻的超精密测量需求与场合。
二.XP01-P-B型激光干涉镜组技术规格
| 测量特性 | 分辨力 | 九/4 （光学四细分） |
| 热漂移系数 | W30 nm/K | |
| 非线性误差 | 优于±0.2nm | |
| 光机特性 | 光束直径 | 9mm |
| 光纤接口 | LC 或 E2000 | |
| 输出效率 | 225% | |
| 测量点公差 | 平均值±0.15mm,偏差值±1mm | |
| 角度容差 | ±1mrad | |
| 光束平行度 | V50Rrad （单轴测量光与参考光之间） | |
| 工作环境 | 温度范围 | 18℃-25℃ （推荐值 20±1℃, 30 min 内变化W±0.1℃） |
| 相对湿度 | 30% - 60% | |
| 物理特性 | 尺寸 | 110mmx90mmx45mm （包含殷钢保护壳） |
| 重量 | 1.5 kg | |
| 共振频率 | >1kHz |
三.XP01-P-B型激光干涉镜组出光位置
四.XP01-P-B型激光干涉镜组安装尺寸
（图中尺寸只做位置说明，不用于生产加工）
可根据实际测量需求定制单/多轴空间分离激光干涉镜组方案。
五.XP01-P-B型激光干涉镜组部件清单
镜组1套（含光纤准直器、耦合器共4个；胶接，出厂前装调）
规格价格如有变更，恕不另行通知。版权所有，包括以上任何形式复制整个或部分文件的权利。
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