北京特思迪半导体设备有限公司
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该系列设备是高精度四轴单面抛光设备，可选配铜盘、锡盘、不锈钢盘等，适用于多种半导体材料的高精密抛光，满足大批量产业化需求。
| 规格/型号 | TSP-810 | TSP-910 | TSP-1270 |
| 陶瓷盘规格 | 305mm | 360mm | 485mm |
| 抛光头数量 | 4 | 4 | 4 |
| 抛光盘转速范围 | 0~90 RPM | 0~90 RPM | 0~60 RPM |
| 抛光头转速范围 | 0~90 RPM | 0~90 RPM | 0~90 RPM |
| 抛光头压力 | 30-300kgf | 30-300kgf | 30-250kgf |
| 设备尺寸 | 1500(W)×1850(D)×2600(H) | 1500(W)×1850(D)×2600(H) | 2260(W)×3245(D)×2550(H) |
| 设备重量 | 3000kg | 3500kg | 8000kg |
| 硬轨液压车刀系统 | 可选配 | 可选配 | 可选配 |
| 耐腐蚀涂层 | 可选配 | 可选配 | 可选配 |
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